发明名称 WAFER TRANSPORT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0870029(A) 申请公布日期 1996.03.12
申请号 JP19940270305 申请日期 1994.10.07
申请人 TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 SUGIYAMA HISATAKA;HAYASHI SHINGO;OMURA NOBUHISA;GOTO TAISAN
分类号 B65G1/00;B65G1/06;B65G49/07;B65G61/00;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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