首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
WAFER TRANSPORT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0870029(A)
申请公布日期
1996.03.12
申请号
JP19940270305
申请日期
1994.10.07
申请人
TOSHIBA MACH CO LTD
发明人
SUGIYAMA HISATAKA;HAYASHI SHINGO;OMURA NOBUHISA;GOTO TAISAN
分类号
B65G1/00;B65G1/06;B65G49/07;B65G61/00;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
B65G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
对接旋风刀盘状态变化时的精度检测方法
一种弯管内表面的铣削加工装置及方法
金鱼藻快速定植的方法
ANGULAR LAG IMPLANT FOR INTRAMEDULLARY NAILS
一种半导体加热干燥装置
一种电解铜箔用添加剂、电解铜箔生产工艺和电解铜箔
一种礼仪皮鞋及其制作方法
Effluent treatment
单股扁金属丝连续压延生产线
一种降低重金属含量Cu的卷烟加工工艺方法
一种光固化直接成型制备陶瓷基三维光子晶体的方法
一种随钻测试储层参数特性并实时调整钻井措施的方法
用于对表面进行导航的方法和装置
具有包装件完整性特征的可释放封闭件及相应包装件
硅基太阳能电池背铝浆料用有机粘合剂及其制备方法
乙酰胺的合成方法
制作微晶玻璃弧形板的工艺、模具及微晶玻璃弧形板
操作终端
燃料电池冷却箱组件和方法
输入装置和控制系统