发明名称 METHOD FOR LOCAL ETCHING OF SUBSTRATES MADE OF SOLID SOLUTIONS OF LEAD TELLURIDE-TIN TELLURIDE
摘要
申请公布号 RU1814451(C) 申请公布日期 1996.03.10
申请号 SU19914921931 申请日期 1991.03.26
申请人 MOSKOVSKIJ INSTITUT ELEKTRONNOJ TEKHNIKI 发明人 NEUSTROEV S.A.;RODIONOVA N.A.
分类号 H01L21/467;(IPC1-7):H01L21/467 主分类号 H01L21/467
代理机构 代理人
主权项
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