发明名称 |
METHOD FOR LOCAL ETCHING OF SUBSTRATES MADE OF SOLID SOLUTIONS OF LEAD TELLURIDE-TIN TELLURIDE |
摘要 |
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申请公布号 |
RU1814451(C) |
申请公布日期 |
1996.03.10 |
申请号 |
SU19914921931 |
申请日期 |
1991.03.26 |
申请人 |
MOSKOVSKIJ INSTITUT ELEKTRONNOJ TEKHNIKI |
发明人 |
NEUSTROEV S.A.;RODIONOVA N.A. |
分类号 |
H01L21/467;(IPC1-7):H01L21/467 |
主分类号 |
H01L21/467 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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