发明名称 A single crystal growing apparatus
摘要
申请公布号 EP0530825(B1) 申请公布日期 1996.03.06
申请号 EP19920115165 申请日期 1992.09.04
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION;MITSUBISHI MATERIALS QUARTZ CORPORATION 发明人 ARAI, YOSHIAKI;KIDA, MICHIO;ONO, NAOKI;SAHIRA, KENSHO;TAKESHITA, MOTOMI;SUGIURA, KENGO
分类号 C30B15/10;C30B15/12;C30B35/00;(IPC1-7):C30B15/12 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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