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发明名称
TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0860355(A)
申请公布日期
1996.03.05
申请号
JP19940222451
申请日期
1994.08.23
申请人
TEL VARIAN LTD
发明人
KATSUKI JIRO;WADA YUICHI;KOBAYASHI HIROSHI
分类号
C23C14/34;C23C14/44;H01J37/34;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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