发明名称 Optisches heterodynes Messverfahren und Einrichtung dafür
摘要
申请公布号 DE69207657(D1) 申请公布日期 1996.02.29
申请号 DE1992607657 申请日期 1992.07.09
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUMOTO, TAKAHIRO, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP;YOSHII, MINORU, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;SAITO, KENJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;NOSE, HIROYASU, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP;SENTOKU, KOICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;TAKEUCHI, SEIJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G01B9/02;G03F9/00;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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