发明名称 |
DISPOSITIVO A SEMICONDUTTORE SIGILLATO CON RESINA DA STAMPAGGIO E PROCEDIMENTO PER LA FABBRICAZIONE DEL MEDESIMO |
摘要 |
E' descritto un procedimento per fabbricare un dispositivo a semiconduttore sigillato con resina da stampaggio. Una interconnessione d'alluminio includente una piazzuola elettrodica d'alluminio viene formata su un substrato di semiconduttore avente un elemento. Un polimero a scala siliconico espresso dalla seguente formula generale viene formato sul substrato di semiconduttore per ricoprire l'elemento. La pellicola di polimero siliconico a scala viene incisa selettivamente mediante un solvente organico aromatico per esporre la superficie della piazzuola elettrodica d'alluminio. La temperatura dalla pellicola di polimero siliconico a scala viene innalzata con una velocità di aumento di temperatura di 20° C/min o più e quindi la pellicola di polimero siliconico a scala viene raffreddata con una velocità di raffreddamento di 20 C/min o più per formare una pellicola protettiva tamponante le sollecitazioni indurita per tamponare sollecitazioni applicate all'elemento. (FORMULA) (nella formula n è un numero intero che fa sì che il peso molecolare ponderale medio abbia a rientrare nell'intervallo da 100.000 a 200.000). |
申请公布号 |
IT1258835(B) |
申请公布日期 |
1996.02.29 |
申请号 |
IT1992MI00178 |
申请日期 |
1992.01.30 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
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分类号 |
H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/56;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/52;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/312 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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