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发明名称 Ausbilden eines vorgeschriebenen Musters auf einer Schicht eines Halbleiterelements
摘要
申请公布号 DE68925398(D1) 申请公布日期 1996.02.22
申请号 DE19896025398 申请日期 1989.08.15
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 OKUMURA, KATSUYA INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU TOKYO, JP;WATANABE, TOHRU INTELLECTUAL PROPERTY DIVISIO, MINATO-KU TOKYO, JP;WATASE, MASAMI INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU TOKYO, JP
分类号 H01L21/302;H01L21/033;H01L21/208;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/033;H01L21/321;H01L21/308 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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