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发明名称 SAMPLE SURFACE OBSERVATION METHOD, INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE, FINE WORKING METHOD, AND FINE WORKING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0850872(A) 申请公布日期 1996.02.20
申请号 JP19940185745 申请日期 1994.08.08
申请人 CANON INC 发明人 YANO KYOJI;KIYOUGAKU MASABUMI
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q60/38;G01Q60/40;G01Q80/00;G01Q90/00;H01J37/04;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/04 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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