发明名称 |
FORMING DEVICE FOR METALLIC PARTIAL FILM AND ITS FORMATION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0841626(A) |
申请公布日期 |
1996.02.13 |
申请号 |
JP19940196051 |
申请日期 |
1994.07.28 |
申请人 |
VACUUM METALLURGICAL CO LTD |
发明人 |
FUCHIDA HIDETSUGU;SETOGUCHI KAZUHIRO |
分类号 |
C23C14/04;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
C23C14/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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