发明名称 FORMING DEVICE FOR METALLIC PARTIAL FILM AND ITS FORMATION
摘要
申请公布号 JPH0841626(A) 申请公布日期 1996.02.13
申请号 JP19940196051 申请日期 1994.07.28
申请人 VACUUM METALLURGICAL CO LTD 发明人 FUCHIDA HIDETSUGU;SETOGUCHI KAZUHIRO
分类号 C23C14/04;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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