| 发明名称 |
FLUIDIZED BED REACTOR FOR DECOMPOSING MONOSILANE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0840717(A) |
申请公布日期 |
1996.02.13 |
| 申请号 |
JP19940176480 |
申请日期 |
1994.07.28 |
| 申请人 |
TOKUYAMA CORP |
发明人 |
SAKAI JUNYA;YOSHIYASU SATOSHI;IIYAMA SHOJI |
| 分类号 |
B01J8/24;C01B33/02;(IPC1-7):C01B33/02 |
主分类号 |
B01J8/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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