发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF THIN SUPERCONDUCTIVE FILMS
摘要
申请公布号 RU2054212(C1) 申请公布日期 1996.02.10
申请号 SU19904893528 申请日期 1990.12.25
申请人 INSTITUT FIZIKI TVERDOGO TELA I POLUPROVODNIKOV AN RESPUBLIKI BELARUS 发明人 PANKOV VLADIMIR VASILEVICH;SHAMBALEV VIKTOR NIKOLAEVICH;KALANDA NIKOLAJ ALEKSANDROVICH;GREMENOK VALERIJ FELIKSOVICH
分类号 H01L39/24;H01L39/12;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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