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发明名称 Verfahren zur reaktiven Oberflächenbehandlung
摘要
申请公布号 DE59107139(D1) 申请公布日期 1996.02.08
申请号 DE19915007139 申请日期 1991.04.05
申请人 BALZERS AG, BALZERS, LI 发明人 FISCHER, HEINRICH, FL-9495 TRIESEN, LI
分类号 C23C16/44;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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