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发明名称 SUBSTRATE CARRIER FOR VACUUM EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0837220(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19930300684 申请日期 1993.11.30
申请人 ASHIDA:KK 发明人 ASHIDA TOSHIKAZU
分类号 C23C14/50;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/306 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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