谐振式微加速度计

摘要

本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种高灵敏度的谐振式微加速度计。解决了传统基于应力改变的谐振式加速度计的测量灵敏度易受内部残余应力等因素影响的问题，该加速度计包括玻璃基底、质量块、两双端固定音叉谐振器，两谐振器并列/排设置，且敏感电容侧相对，敏感电容包含若干个一侧极板经连接梁与音叉梁固定的平板电容，平板电容的另一侧极板经支撑连接梁整体固定；质量块设置于两谐振器之间，质量块与其两侧谐振器之间分别设置有一组对称的微杠杆，质量块两侧的微杠杆相对于质量块对称，微杠杆一端与质量块固定，另一端与平板电容的支撑连接梁固定。本发明结构合理，体积小，灵敏度高，检测效果好，具有良好的发展前景。

主权项

一种谐振式微加速度计，包括玻璃基底(1)、质量块(2)、设置于玻璃基底(1)上的两双端固定音叉谐振器，双端固定音叉谐振器包含双端固定音叉(3)、分别设置于双端固定音叉(3)两侧的敏感电容(4)和驱动电容(5)，驱动电容(5)为梳齿电容，其特征在于：两双端固定音叉谐振器(3)并列设置，且敏感电容侧相对；质量块(2)设置于两双端固定音叉谐振器之间，质量块(2)与其两侧的双端固定音叉谐振器之间分别设置有一组对称的并通过锚点(8)与玻璃基底(1)键合连接的微杠杆(9)，微杠杆(9)一端与质量块(2)固定，另一端固定有支撑连接梁(7)，且质量块(2)两侧的两组微杠杆(9)相对于质量块(2)对称；敏感电容(4)包含若干个一侧极板经连接梁(6)与双端固定音叉(3)的音叉梁固定的平板电容，平板电容的另一侧极板与支撑连接梁(7)固定。