发明名称 FORMATION OF METAL WIRING
摘要
申请公布号 JPH0837235(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940192057 申请日期 1994.07.22
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 IIJIMA MITSUTERU
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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