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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0837246(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19910063787 申请日期 1991.03.06
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAMURA TAKAHARU
分类号 H01L21/74;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
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