| 发明名称 |
MAINTENANCE METHOD OF SEMICONDUCTOR FABRICATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0837156(A) |
申请公布日期 |
1996.02.06 |
| 申请号 |
JP19940169694 |
申请日期 |
1994.07.21 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TSUKADA KAZUNORI;HOSAKA EIJI |
| 分类号 |
C23C14/54;H01L21/205;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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