发明名称 CLEANING CONTAINER
摘要
申请公布号 JPH0831787(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940159934 申请日期 1994.07.12
申请人 DAN KAGAKU:KK 发明人 HIRATSUKA YUTAKA
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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