| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0831905(A) |
申请公布日期 |
1996.02.02 |
| 申请号 |
JP19940166550 |
申请日期 |
1994.07.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HASHIZAKI MOTOHIRO;FUJITO TOSHIAKI;YAMAGUCHI SUMIO |
| 分类号 |
B65G49/07;B25J13/08;G05B19/18;G05B19/404;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
