发明名称 SPIN COATING METHOD FOR LIQUID AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0780387(A) 申请公布日期 1995.03.28
申请号 JP19930252201 申请日期 1993.09.14
申请人 NORDSON KK 发明人 ICHIKAWA HIDEMASA
分类号 B05B13/02;B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;G11B5/842;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05B13/02
代理机构 代理人
主权项
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