发明名称 MANUFACTURE OF PRESSURE SENSOR AND PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0829280(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940189938 申请日期 1994.07.19
申请人 NIPPON DENSHI ION:KK 发明人 SHIMIZU MASAHARU;SHIMIZU TOMOTSUGU
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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