| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0831815(A) |
申请公布日期 |
1996.02.02 |
| 申请号 |
JP19940164405 |
申请日期 |
1994.07.15 |
| 申请人 |
CANON SALES CO INC;ALCANTEC KK;HANDOTAI PROCESS KENKYUSHO:KK |
发明人 |
TOKUMASU TOKU;MAEDA KAZUO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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