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发明名称 Dünnfilm-Transistor und Verfahren zur Herstellung.
摘要
申请公布号 DE69111963(T2) 申请公布日期 1996.02.01
申请号 DE1991611963T 申请日期 1991.10.03
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMAGUCHI, YASUO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;AJIKA, NATSUO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;YAMANO, TSUYOSHI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号 H01L21/8238;H01L21/336;H01L21/762;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L29/08 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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