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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position
摘要
申请公布号 DE68925139(D1) 申请公布日期 1996.02.01
申请号 DE19896025139 申请日期 1989.02.16
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAITOH, KENJI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;MATSUGU, MASAKAZU, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;NIWA, YUKICHI, NARASHINO-SHI CHIBA-KEN, JP;NOSE, NORIYUKI, MICHIDA-SHI TOKYO, JP;YOSHII, MINORU, NAKANO-KU TOKYO, JP;SUDA, SHIGEYUKI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B41/00;G03B27/53 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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