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发明名称 Verfahren zur Homogenisierung der Ionenimplantierung auf der Oberfläche ebener Proben.
摘要
申请公布号 DE69110327(T2) 申请公布日期 1996.01.25
申请号 DE19916010327T 申请日期 1991.03.21
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS, FR 发明人 LAMURE, JEAN-MICHEL, F-38420 SAINT JEAN LE VIEUX, FR;MICHAUD, JEAN FRANCOIS, F-73800 MONTMELIAN, FR
分类号 C23C14/48;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/20;H01L21/00 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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