发明名称 Inspection interferometer with scanning feature
摘要
申请公布号 GB2291500(A) 申请公布日期 1996.01.24
申请号 GB19950017913 申请日期 1994.12.23
申请人 * INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JOHN ANDREW * GOLBY;MILES JOHN * PADGETT;STEPHEN PETER * WOODALL
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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