| 主权项 |
1.一种分子泵，至少有一组由若干条多个拖动面的抽气槽并联组成的基本抽气单元，该基本抽气单元由动轮、动密封块、转轴、隔环、静轮和泵壳等组成。动轮由若干条沿圆周方向的并联抽气槽组成，抽气槽开口在圆周的柱面上，或者在横截面上，或者在斜侧面上。抽气槽的截面可以是矩形，弧形或者其他形状。抽气槽中插入一块动密封块，动密封块由截面与抽气槽相似，但略小的弧形体构成。动密封块固定在隔环，或者泵壳，或者静轮等静止部件上。动密封块与抽气槽槽壁之间留有较小的工作间隙。动密封块两侧分别设有进气口和排气口。本发明特征在于上述基本抽气单元中；(1)靠近转轴处的抽气槽槽宽较窄。(2)相邻两并联抽气槽之间设有较大的气体通道。 |
