发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0823045(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940156858 申请日期 1994.07.08
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 MIMORI SEIJI;ASAKAWA TORU;SUZUKI YUICHI;OKADA NAOTO;SHIMADA OSAMU
分类号 H05K1/18;H01L21/60;H01L23/02;H01L23/04;(IPC1-7):H01L23/04 主分类号 H05K1/18
代理机构 代理人
主权项
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