发明名称 VACUUM SOAKING HEATER
摘要
申请公布号 JPH0820868(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940179643 申请日期 1994.07.06
申请人 NARUO NOBORU 发明人 NARUO NOBORU
分类号 H05B3/20;C23C14/50;C23C16/46;H01L21/203;H05B3/64;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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