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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM LITHOGRAPHIC DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0821706(A)
申请公布日期
1996.01.23
申请号
JP19940155656
申请日期
1994.07.07
申请人
HITACHI LTD
发明人
NODA SHIN
分类号
G01B11/02;H01L21/027;(IPC1-7):G01B11/02
主分类号
G01B11/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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