发明名称 DESIGNING OF WIRING OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0823030(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940153674 申请日期 1994.07.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIROTA HIROSHI;TAKAHASHI KAZUHIRO;TERAI MASAYUKI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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