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发明名称 DRY WASHING DEVICE AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 JPH0817774(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940173603 申请日期 1994.06.30
申请人 SONY CORP 发明人 SAKOTA SHIGEO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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