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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH0817799(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940146812 申请日期 1994.06.28
申请人 PLASMA SYST:KK 发明人 NAKAGAMI SHINJI;NAGASAKA MICHIO
分类号 H05H1/04;C23F4/00;C30B25/06;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/04
代理机构 代理人
主权项
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