| 发明名称 |
SUBSTRATE-SURFACE TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0817723(A) |
申请公布日期 |
1996.01.19 |
| 申请号 |
JP19940173300 |
申请日期 |
1994.06.30 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SHIMA YASUMASA;MATSUSHITA YOSHIHIKO;YOSHITANI MITSUAKI;NAKAMURA TSUGIO |
| 分类号 |
B08B3/02;B65G49/07;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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