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发明名称 Linear-and-angular measuring plane mirror interferometer
摘要
申请公布号 EP0388594(B1) 申请公布日期 1996.01.17
申请号 EP19900101409 申请日期 1990.01.24
申请人 HEWLETT-PACKARD COMPANY 发明人 BOCKMAN, JOHN J.
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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