| 发明名称 |
LATTICE-INTERFERENCE TYPE DISPLACEMENT DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH085325(A) |
申请公布日期 |
1996.01.12 |
| 申请号 |
JP19940134494 |
申请日期 |
1994.06.16 |
| 申请人 |
MITSUTOYO CORP |
发明人 |
OSAKI MOTOHIRO;TOMITANI MASAKI;SATOU SOUICHI;BABA TETSUO |
| 分类号 |
G01D5/38;G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01D5/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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