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发明名称 MANUFACTURING DEVICE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH088241(A) 申请公布日期 1996.01.12
申请号 JP19940141421 申请日期 1994.06.23
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 OKUYAMA SATORU
分类号 H01L21/22;C30B31/16;C30B33/00;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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