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发明名称
DEVICE SEPARATION FILM OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AND THE FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号
KR1019960000702(B1)
申请公布日期
1996.01.11
申请号
KR1019920015593
申请日期
1992.08.28
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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