| 发明名称 |
Method and apparatus for measuring film thickness in multilayer thin film stack. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0660076(A3) |
申请公布日期 |
1996.01.10 |
| 申请号 |
EP19940309115 |
申请日期 |
1994.12.07 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
CLAPIS, PAUL J.;DANIELL, KEITH E. |
| 分类号 |
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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