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发明名称 FABRICATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR960000375(B1) 申请公布日期 1996.01.05
申请号 KR19920000838 申请日期 1992.01.22
申请人 TOSHIBA CORP. 发明人 HORI, MASARU;YANO, HIROYUKI;HORIOKA, GEIJI;HAYASHI, HISADAKA;JIMBO, SADAYUKI;OKANO, HARUO
分类号 H01L21/308;H01L21/311;H01L21/314;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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