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发明名称 VACUUM TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07335708(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940130124 申请日期 1994.06.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKADA KENJI;TAMURA NAOYUKI;OGAWA YOSHIFUMI
分类号 H01L21/677;H01L21/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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