发明名称 III-V FAMILY SEMICONDUCTOR GATE STRUCTURE AND ITS PREPARATION
摘要
申请公布号 JPH07335675(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19950152748 申请日期 1995.05.29
申请人 MOTOROLA INC 发明人 JIEISHIN CHIYOO;KERII DABURIYU KIRAA;UEIN EE KURONIN;MAAKU DEYUURAMU;JIYONASAN KEE ABUROKUWA
分类号 H01L21/28;H01L21/033;H01L21/283;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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