| 发明名称 |
LEAKAGE DETECTION METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING SYSTEM TO BE DETECTED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07333095(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
| 申请号 |
JP19940126214 |
申请日期 |
1994.06.08 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;AITEL CORP |
发明人 |
HONMA HITOSHI;TAKAHASHI MASATO;UEDA KIYOSHI |
| 分类号 |
G01N31/22;G01M3/04;G01M3/20;G21C17/02;(IPC1-7):G01M3/04 |
主分类号 |
G01N31/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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