| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON WAFER AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07335661(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
| 申请号 |
JP19940122304 |
申请日期 |
1994.06.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
KITANO MANABU;SUGINO YUSHI;ARAKAWA HISASHI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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