发明名称 BOARD HOLDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07335713(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940151540 申请日期 1994.06.08
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 ARAKI HIROYUKI
分类号 B25J15/00;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25J15/00
代理机构 代理人
主权项
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