发明名称 |
METHOD OF INCREASING CARRIER DENSITY OF SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07335983(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
申请号 |
JP19940126241 |
申请日期 |
1994.06.08 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
KANIE TOMOHIKO |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/268;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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