发明名称 METHOD OF INCREASING CARRIER DENSITY OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH07335983(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940126241 申请日期 1994.06.08
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KANIE TOMOHIKO
分类号 H01L21/265;H01L21/268;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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