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发明名称 Verfahren zur Bestimmung der vollständigen Abtragung einer Dünnschicht auf einem nichtplanaren Substrat.
摘要
申请公布号 DE69114595(D1) 申请公布日期 1995.12.21
申请号 DE19916014595 申请日期 1991.07.16
申请人 FRANCE TELECOM, PARIS, FR 发明人 GALVIER, JEAN, F-38400 SAINT MARTIN D'HERES, FR;GAYET, PHILIPPE, F-38660 SAINT VINCENT DE MERCUZE, FR;TISSIER, ANNIE, F-38330 SAINT ISMIER, FR
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/66;H01L21/768;(IPC1-7):H01J37/32;G01B11/06;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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