发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07335750(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940130104 申请日期 1994.06.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 YASUKAWA AKIO;KAWAJI MOTONORI;HORIUCHI MITSUAKI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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