ESTRUCTURA DE TEST PARA LA MEDIDA DE LA DIFUSION LATERAL EN TECNOLOGIAS CON DOPADO A PARTIR DE POLISICILIO, CON CORRECCION DEL DESALINEAMIENTO

摘要

LA ESTRUCTURA DE TEST PARA LA MEDIDA DE LA DIFUSION LATERAL EN TECNOLOGIAS CON DOPADO A PARTIR DE POLISICILIO, CON CORRECCION DEL DESALINEAMIENTO ES UN DISPOSITIVO COMPUESTO DE VARIOS TRANSISTORES MOS DE VACIAMIENTO, DE DISTINTAS DIMENSIONES, CON CONTACTOS ENTERRADOS DISPUESTOS ALTERNATIVAMENTE A DERECHA E IZQUIERDA. LA ESTRUCTURA DEBE CONTENER CUATRO TRANSISTORES COMO MINIMO A PESAR DE QUE LA IMPLEMENTACION PRACTICA QUE SE PRESENTA CONTIENE NUEVE. LA MEDIDA QUE SE REALIZA ES DE TIPO ELECTRICO MEDIANTE AJUSTES LINEALES DE LA INVERSA DE LA CORRIENTE DE DRENADOR RESPECTO A LAS LONGITUDES DE LOS TRANSISTORES. SU APLICACION CONSISTE EN LA OBTENCION AUTOMATICA MEDIANTE MEDIDAS ELECTRICAS DE LA LONGITUD DE DIFUSION LATERAL EN PROCESOS DE AUTODOPADO A PARTIR DE MATERIAL POLICRISTALINO.