发明名称 Vorrichtung zum Ätzen von Plättchen.
摘要
申请公布号 DE69108838(T2) 申请公布日期 1995.12.14
申请号 DE19916008838T 申请日期 1991.10.15
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ENOMOTO, TATSUO, SHIRAKAWA-SHI, FUKUSHIMA-KEN, JP;SATO, MICHITO, NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;NEZU, SHIGEYOSHI, ULU KLANG, AMPANG 68000 SELANGOR, MY
分类号 C23F1/08;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/68;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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